干螺桿真空泵以其優越的性能

  干螺桿真空泵以其優越的性能在歐美和日本已成為微電子、半導體、制藥、加工等行業的真空獲取設備，而日本在螺桿壓縮機的基礎上，很早就研制出多管真空泵轉子線，并投入市場。多家德國真空設備公司也逐步開發出等螺距、變螺距轉子型線，并對旋翼、機身冷卻進行了多項關鍵技術研究。

真空泵是一種抽氣設備，工業上對它的要求多種多樣，有多種形式的真空泵，二十世紀的主要產品是膜式泵和密封泵，這類泵排出油霧，對環境造成嚴重污染；僅有少數工業有特殊要求，才采用無油泵類或水環泵類(濕式泵)，此類泵真空度不高，耗水量大，有干式要求，須采用物理、化學吸附，冷凝低溫，成本高昂，膜式泵真空度不高，抽氣難，抽氣難，成本高，液氮成本高，總之，能直接排入大氣和高真空機組連接的泵各有不足，干式泵不適合大工業應用，直到二十世紀八十年代，一種爪式泵難做大，制作難，成本高；另外一種羅茨泵的缺點與爪式泵相似。

干螺桿真空泵是利用一對螺桿轉子在泵殼內同步高速反向旋轉，產生吸氣排氣作用的一種容積泵，主要用于高純凈真空處理過程，其真空度高，能適應惡劣的工作環境，具有抽凝、含微粒氣體的才能，尤其適用于電子、化工、生物醫藥、金屬、食品等行業。

雙螺桿式真空泵在工作時，由于兩轉子相對高速旋轉，需要在轉子和轉子之間以及泵腔之間留出一定的間隙，以免產生摩擦。但螺桿式真空泵在使用過程中，排氣溫度高，這也導致螺桿式真空泵溫度高，形成轉子和殼體變形，轉子和殼體之間以及轉子和泵腔之間的空隙會發生變化，影響抽氣效果，嚴重時會使抽氣摩擦加劇，終燒結卡殼體。

本實用新型與現有技術相比，具有如下優點：

1、螺桿轉子與螺桿轉子之間以及螺桿轉子與殼體之間的間隙依次沿進氣端至排氣端的方向減小，使螺桿轉子在穩定工作后有足夠的收縮空間，防止螺桿轉子卡殼，并且在收縮后它們之間的間隙更小，減少氣體的走漏量和真空度。

2、螺桿轉子采用相同的螺紋小徑，螺紋大徑沿進氣端向排氣端依次減小的設計，既降低了加工難度，又節省了消耗資金，而且在穩定工作時，螺桿轉子之間的間隙較小，較平均，減少了漏氣。

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